欢迎来到扬州国兴技术有限公司 [ 官方网站
]
国兴技术箱式真空等离子体处理系统GX-V1503
主机尺寸：2000W x 1700D x 2500H mm（可定制化）
真空腔体尺寸： 1140W x 1560D x 960H mm（可定制化）
电极板配置：16 片垂直电极板，15 个处理位置
有效区域：1115W x 630H mm（可定制化）
等离子体电源：定制化
工艺气体控制：
标配：
O2、N2：0~5000sccm；
CF4：0~400sccm；
Ar：0~2000sccm；
可选： 额外一路工艺气体，流量范围可定制
