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相比于直流、中频、高频和射频等离子体,微波等离子体具有更高的电子温度、更高的等离子体浓度以及活性,在应用中具有低温和高效的优势,尤其适用于温敏材料的处理。此外,微波等离子体具有零电位差的优点,也适合于静电敏感材料的处理。
国兴常压微波等离子炬的应用:
国兴常压微波等离子炬主要应用于材料的清洗以及表面活化:
- 焊线(wirebonding)前的预处理
- 粘接预处理
- 覆膜前预处理
- 涂覆/印刷前预处理
- 静电敏感元件的表面处理
此外,用氮气做工作气,等离子体温度可以接近室温,非常适合于创口灭菌以及皮肤病治疗。