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等离子处理测试方法和标准:
序号 | 方法 | 描述 | 标准 | 建议 |
1 | 达因笔 | 达因：[英dyne]力的单位，物体表面能的大小单位，达因值小，物体表面能低，达因值大，物体表面能大，表面能越大，吸附性越好，粘接和涂覆效果越佳； 有达因笔可以直接测试物体表面能量的大小，使用方便可靠 | 处理前在工件表面用达因笔测试，一般在40达因以下，不利于粘接和涂覆；处理后工件表面达因值可达55-60以上（不同材料处理效果不同），比较有利于粘接和涂覆； | 操作简单可靠，建议使用 |
2 | 水滴测试 | 水的达因值是72，一般处理后的工件如果亲水性良好，那么说明表面能较高，已经超过70达因，粘接和涂覆比较理想 | 使用比较细的针管滴定，水滴到工件表面后能均匀散开，不积聚在一起； | 水滴测试简单方便，但有些材料处理后表面能达不到70达因，用此方法就不明显； |
3 | SEM扫描 | SEM：电子扫描电镜的简称，可以将物体表面放大到几千倍，将分子结构般的微观图片拍摄出来 | 如果是做等离子刻蚀或清洗，可以清晰的看到表面的结构变化 | 设备比较昂贵，较少公司拥有 |
4 | 胶带拉力测试 | 使用胶带贴附在工件表面，使用拉力测试仪器拉伸粘附的胶带，拉力测试仪会显示最大拉力值，这样可以很明显的测试出等离子处理前后的工件粘附效果的数据，从数据来判定较为理想的等离子处理参数 | 根据不同的产品，处理前后的拉力值的变化最大的参数为最佳 | 测试使用，量产不适用 |
5 | 红外线扫描 | 利用红外线测试设备，能测试出工件经过等离子处理前后，工件表面极性基团和元素成份组合状况 | 查看红外线数据，检测处理前后元素成份变化和极性基团的变化，不同材料不同标准 | 设备价格比较昂贵，较少公司拥有 |
6 | 称重法 | 等离子刻蚀均匀性的测试方法，将腔体内不同的位置放置相同的工件，一般使用10*10cm环氧片作为基材，等离子处理测试前烘烤干燥，称重，记录，等离子处理完毕，取出称重，记录，整理数据，可以从处理前后的重量差（即刻蚀量）来反应等离子的均匀性 | 均匀性大于80%即为合格 | 等离子大型刻蚀机使用，小型机或表面清洁活化机型不适用 |
