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AGV自动化真空等离子处理系统
1、PCB台车架定位、升降机构；
2、PCB载具；
3、六轴机械手取板及CCD定位机构；
4、六轴机械手上、下板机构；
5、框架固定、可调机构；
6、夹具开闭机构；
7、PCB翻转传送机构；
8、AGV输送运行系统（AGV架构运行环境）
9、Plasma托架进出机构；
10、电控系统；
11、安全防护系统。
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