國興技術等離子處理測試方法和標準

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達因筆

達因：[英dyne]力的單位，物體表面能的大小單位，達因值小，物體表面能低，達因值大，物體表面能大，表面能越大，吸附性越好，粘接和塗覆效果越佳；

有達因筆可以直接測試物體表面能量的大小，使用方便可靠

處理前在工件表面用達因筆測試，一般在40達因以下，不利於粘接和塗覆；處理後工件表面達因值可達55-60以上（不同材料處理效果不同），比較有利於粘接和塗覆；

操作簡單可靠，建議使用

2

水滴測試

水的達因值是72，一般處理後的工件如果親水性良好，那麼說明表面能較高，已經超過70達因，粘接和塗覆比較理想

使用比較細的針管滴定，水滴到工件表面後能均勻散開，不積聚在一起；

水滴測試簡單方便，但有些材料處理後表面能達不到70達因，用此方法就不明顯；

3

SEM掃描

SEM：電子掃描電鏡的簡稱，可以將物體表面放大到幾千倍，將分子結構般的微觀圖片拍攝出來

如果是做等離子刻蝕或清洗，可以清晰的看到表面的結構變化

設備比較昂貴，較少公司擁有

4

膠帶拉力測試

使用膠帶貼附在工件表面，使用拉力測試儀器拉伸粘附的膠帶，拉力測試儀會顯示最大拉力值，這樣可以很明顯的測試出等離子處理前後的工件粘附效果的數據，從數據來判定較為理想的等離子處理參數

根據不同的產品，處理前後的拉力值的變化最大的參數為最佳

測試使用，量產不適用

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紅外線掃描

利用紅外線測試設備，能測試出工件經過等離子處理前後，工件表面極性基團和元素成份組合狀況

查看紅外線數據，檢測處理前後元素成份變化和極性基團的變化，不同材料不同標準

設備價格比較昂貴，較少公司擁有

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稱重法

等離子刻蝕均勻性的測試方法，將腔體內不同的位置放置相同的工件，一般使用10*10cm環氧片作為基材，等離子處理測試前烘烤乾燥，稱重，記錄，等離子處理完畢，取出稱重，記錄，整理數據，可以從處理前後的重量差（即刻蝕量）來反應等離子的均勻性

均勻性大於80%即為合格

等離子大型刻蝕機使用，小型機或表面清潔活化機型不適用