電暈放電之優點：
1. 低溫製程
電暈放電並非提高氣體溫度，而是提供局部的高電場以加速電子，進行解離，所以消耗的能約幾乎全部拿來解離氣體，需要的能源小；符合經濟效益。
2. 使用電源較普遍
電暈放電是以電極形狀造成局部高電壓，而且 DC 或 AC電源皆可使用，一般採 AC 電源以避免電漿的不穩定情形發生，並避免電極溫度太高，而供給的電壓不必如 DBD 那麼
高，對於操作人員較為安全。
3. 設備簡單
基本的設備如圖九所示，為針狀或線狀對平板狀電極，然後通以側向氣體。
電暈放電之缺點：
1. 處理效果弱
由電暈放電性質知道，電漿分佈會集中在電場最大點的附近，不像低壓電漿是均勻分佈整個電極，而 DBD 雖然也會造成放電集中，但至少是整個電極均勻分佈微小放電。採線狀電極雖然有使處理量擴大，但其改善效果有限。
2. 易造成電極破壞
由於電漿的集中，亦造成針狀或線狀電極需承受高溫，故多採耐火材料如鎢(W)，但鎢高溫易與碳結合而脆化(碳 化)，在常壓下壽命不長；另一平面電極亦易於受局部集中電場而造成破壞(如放電加工原理)。