由於常壓電漿具有下述優點，可在室溫下將污染物質分解成無污染性之氣體，因此應用於氣相與液相環境污染物之分解上最具潛力。
1. 去除效率高：較一般的焚化或觸媒反應法之反應性皆高，可使原先不易發生的反應快速進行。
2. 設置成本低廉：主要設備為高頻率電源供應器，無須加熱系統，安裝容易。
3. 節省能源：能源消耗少，利用效率高。電漿在低氣體溫度即可產生，而電漿化學反應在近於室溫下即可進行，無須加熱氣體即可使反應完全，因此可節省能量甚巨。電漿能量效率較傳統的化學反應效率高出甚多，是因為傳統或觸媒反應乃利用氣體加熱來提高氣體分子的動能，分子在經相互碰撞後才將一小部份的動能轉成位能來破壞分子的鍵結。如此，大部份外加的能量皆在提高氣體的溫度，而非用在鍵能的破壞。但電漿的能量是直接加在電子上，而高能電子的破壞鍵結效率非常高，電子的能量可以百分之百的轉成破壞分子的位能，而完全不需提高分子的動能。因此，電漿可以將能量直接用在分子的鍵結破壞，而不需浪費能量來提高氣體的溫度。尤其是氣體的熱傳效率相當差，電漿在氣體低溫時即可破壞鍵結的能力，可大大的節省能源。
4. 操作成本低廉且可避免二次污染：不需要吸收劑或吸附劑等化學藥品，也毋需觸媒或燃料，可同時節省操作費用，和避免二次污染。
5. 操作維修容易：電漿系統簡單，操作簡便，且反應器內並無設備需經常更換，因此，不需經常維修。
6. 設備體積小：電漿反應器較吸收塔、吸附塔或焚化爐小，不佔空間，非常適合既有工廠空氣污染之改善。
7. 可處理低濃度污染氣體：能夠處理濃度範圍為 ppb 至 ppm 之惡臭氣體，和吸附法相當，較吸收法及焚化法為佳。
8. 開機時間短：不像焚化爐操作上需要一段時間使得溫度達到所需的高溫才能進行分解；電漿反應器不需要熱機，因此不會消耗能源在升溫上。