AGV自动化真空等离子处理系统
1、PCB台车架定位、升降机构;
2、PCB载具;
3、六轴机械手取板及CCD定位机构;
4、六轴机械手上、下板机构;
5、框架固定、可调机构;
6、夹具开闭机构;
7、PCB翻转传送机构;
8、AGV输送运行系统(AGV架构运行环境)
9、Plasma托架进出机构;
10、电控系统;
11、安全防护系统。
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